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ZYGO光学表面轮廓粗糙度仪
  • 产品名称:ZYGO光学表面轮廓粗糙度仪
  • 产品型号:NewView
  • 所属类别:瑞士Trimos测高仪|测长机|粗糙度仪
  • 发布时间:2015-10-08
  • 已获点击:1775
  • 品牌/商标:ZYGO
  • 企业类型:贸易商
  • 新旧程度:全新
  • 原产地:美国
详细说明

瑞士Trimos公司生产的TR-Scan-P系列精密型ZYGO光学表面轮廓粗糙度仪非接触表面微观形貌(粗糙度)测量仪,系统采用TRIMOS技术数字全息三维显微测量技术(DHM),广泛应用于高精密微观表面检查。与传统非接触测量技术相比,测量速度快,对震动不敏感,真正的实现三维形貌纳米级测量。ZYGO光学表面轮廓粗糙度仪是模块化的设计理念,可配置共焦显微系统, 探针测量系统,传感器直接更换,方便快捷,极大的满足了不同的应用范围。即可用于计量单位和材料科学研发实验室,也广泛应用在工业制造领域:汽车、航天、航空、表面涂层、医疗产品、微型电机系统、半导体等行业。ZYGO光学表面轮廓粗糙度仪是瑞士TRIMOS研发ZYGO光学表面轮廓粗糙度仪的ZYGO光学表面轮廓粗糙度仪。

■TR-Scan主要特点:
◆非接触式测量原理,无损化检测粗糙度,微观形貌
◆独有的数字全息三维显微技术,真正实现3D微观形貌测量
◆创新的成像原理,从原理上保证了对外界振动不敏感,Z轴分辨率高
◆激光找正工件并自动定位,测量速度快
◆模块化的设计概念,多种光学光路原理,直接更换传感器,不需要调整,方便快捷
◆可非标定制相应的测量头,满足不同客户的特殊工件测量要求
◆即可选用数字全息技术实现高精密表面测量,也可选用色谱共聚焦技术实现微观轮廓测量或选用接触式探针实现内壁粗糙度测量
◆惯用了TRIMOS“智能用户界面”的理念,测量过程全自动,操作简单
◆采用的3D形貌分析软件,功能强大,即可实现2D轮廓测量,也可进行3D形貌分析
◆可进行编程批量检测并自动生成分析
◆完全兼容2D标准,并已内置即将制定的3D标准ISO25178

 

技术参数:

 

TR Scan100 <td width='\"832\"' class='\"xl37\"' colspan='\"5\"' medium="" none\"="">+/-43     +/-28     +/-27     +/-22       +/-14       +/-8.6

TR Scan200 TR Scan300
固定式 100mm 固定式 固定式 固定距离 240mm 0.1um XYZ轴最定位
20kg 仪器重量
DHM S2(全息) DIA P1(接触式) 垂直分辨率(Z)
0.6um 1um 测量范围(Ra)1)
5um 100um 允许误差(Ra)
0.1nm 9nm 样品反射率
0.25*0.25mm CCM(共焦): 共焦测量头 垂直测量范围(um) 工作距离(mm) 纵向分辨率(um) 纵向(um) 爬坡能力(deg)

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